Flexibilité Pièces en graphite semi-conducteurs sans cavité d'huile

Parties en graphite de semi-conducteurs

• Principe de fonctionnement

L'implant ionique est l'un des petits accélérateurs à haute pression avec le plus grand nombre d'applications.et obtient un faisceau d'ions avec une énergie de plusieurs centaines de kilovolts après accélérationIl est utilisé pour l'implantation ionique de matériaux semi-conducteurs, de circuits intégrés et d'appareils à grande échelle. Il est également utilisé pour la modification de surface et la fabrication de matériaux métalliques.

• Flux de traitement

• Nettoyage: nettoyage par ultrasons pendant 10 minutes.
• Séchage: pas de cavité d'huile, 2 heures, température ≥ 200°C
• Emballage: pas de mains nues, serviette à l'alcool isopropylique de qualité semi-conducteur, outils de qualité pure, emballage séparé en PEHD et en film de bulle, sac étanche à la chaleur sous vide, base en carton ondulé en plastique
• Étiquettes: étiquettes d'impression en salle blanche, étiquettes à double couche pour les emballages intérieur et extérieur, papier d'étiquette sans poussière de qualité semi-conducteur

• Application du projet

Les pièces en graphite implantées sur ions sont l'une des applications des semi-conducteurs.Le graphite à grains fins et à haute densité présente une forte résistance à la corrosion dans des conditions de travail extrêmement difficiles (comme le bombardement par un faisceau ionique ou un faisceau de plasma) et peut être utilisé comme bouclierIl est similaire à Eaton, Axcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM et autres équipements.

Dans l'industrie des semi-conducteurs, le graphite de haute pureté est principalement utilisé comme système de chauffage, couverture isolante, électrode, etc.L'utilisation de graphite de haute pureté pour ces pièces utilise également pleinement la résistance à haute température du graphite de haute puretéLes avantages du graphite de haute pureté, tels que la résistance à la corrosion, la résistance à l'oxydation et la conductivité électrique et thermique, ont été appliqués à l'industrie des semi-conducteurs.ce qui prolonge la durée de vie de la pièceNotre société utilise des matériaux de graphite de qualité semi-conducteur allemand pour fabriquer avec précision des consommables en graphite pour l'implantation ionique,fournir des pièces standard et des spécifications personnalisées.
Le graphite de haute pureté peut être utilisé comme matériau à faible nombre atomique selon les caractéristiques des particules uniformes et fines.résistance élevée à la corrosion, haute pureté, pas d'ions métalliques, pas de pollution des semi-conducteurs, et les pièces métalliques exposées dans l'équipement d'implantation ionique causera des pertes élevées,utilisez donc la partie de graphite correspondante comme couverture de blindage- pièces détachées pour les capteurs de plasma, la chambre d'électrode, la buse, la doublure, l'électrode de pulvérisation, le capteur de mouvement, etc.

• Avantages

Bonne qualité, commande sur mesure, livraison rapide